W celu badania należy wykonać preparaty do badań.
Przygotowanie powierzchni próbki masywnej:
Przygotowanie cienkich folii:
[1]. J. I. Goldstein and all, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Second edition, Plenum Press, New York, 1992, 91-108.
[2]. H. Modin, S. Modin, Metallurgical Microscopy, London, Butterworths, 292-300.
[3]. P. J. Goodnew, Specimen preparation for transmission electron microscopy of materials, Oxford University Press, Royal Microscopical Society, 1984, 12-24.
[4]. J. Morgiel i in., Wykorzystanie wiązki jonów Ga+ do wycinania preparatów do obserwacji w mikroskopie transmisyjnym, Biuletyn Instytutu Odlewnictwa w Krakowie, „Innowacje w Odlewnictwie”, Kraków, 2007, 239-246
[5] J. Li, JOM, March 2006, 27-31.
Próbki dostarczone do badań należy przygotować w następujący sposób